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CKD小型流量傳感器注意資料，喜開理超小型直裝過濾器
CKD小型流量傳感器注意資料，喜開理超小型直裝過濾器顯示器型規格注意 設計·選定時關于流量單位 ● 本產品的流量以不受溫度、壓力影響的流量計量。 單位為R/min，這是流量換算成在200C，1個大氣壓 （101kPa）下的體積流量時的顯示。關于耐壓 ● 請在規定的耐壓范圍內使用。選定時請注意。
CKD小型流量傳感器注意資料，喜開理超小型直裝過濾器
小型流量傳感器（空氣 N2用） 快速流動 顯示器型/模擬輸出型 FSM Series ●流量范圍： 0.05～0.5、0.1～1、0.5～5、 1～10、2～20、5～50、10～100R/min
流量范圍 /min注1 適用流體 zui高使用壓力 MPa zui低使用壓力 MPa 耐壓力 MPa 使用環境溫度·濕度 使用流體溫度 ℃ 直線性（顯示·模擬輸出） 壓力特性 溫度特性
再現性（重復精度）
響應性 顯示的種類
輸出的種類
電源電壓 消耗電流 導線 保有機能 安裝方向 導入直管部分 保護構造 保護回路注4 EMC指令
精 度
使 用 條 件
安 裝
顯示器型規格注意 設計·選定時
關于流量單位 ● 本產品的流量以不受溫度、壓力影響的流量計量。 單位為R/min，這是流量換算成在200C，1個大氣壓 （101kPa）下的體積流量時的顯示。
關于耐壓 ● 請在規定的耐壓范圍內使用。選定時請注意。
確認吸附等使用的場合 ● 本產品用于確認吸附等時，請根據使用真空壓力、吸附噴 嘴直徑選定流量范圍。 請參閱33頁附頁“流量理論計算方法”。 ● 本產品用于確認吸附等時，請務必在吸入側的安裝空 氣過濾器（過濾度30μm以下），以防吸入異物。（ 使用FSM超小型管線直裝過濾器，詳細請參閱31 頁）。
● 本產品用于確認吸附等時，請考慮大氣的結露點與本產品 的環境溫度，請在配管內不結露的條件下使用。 ● 本產品用于確認吸附等時，因吸附噴嘴與本產品之間配管 的容積的大小，響應速度有可能減慢。此時，應采取縮小 配管容積等對策。 ● 用于吸氣等真空用途時，在快插接頭附近請不要彎曲。在 快插接頭附近增加管道應力時，請把快插式環插入管道 后，再插入快插接頭使用。
項 目
壓縮空氣 FSM-N/P-005 FSM-N/P-010 FSM-N/P-050 FSM-N/P-100 FSM-N/P-200 FSM-N/P-500 FSM-N/P-101
潔凈空氣（JIS B 8392-1.1.2～5.6.2） 、壓縮空氣（JIS B 8392-1.1.2～1.6.2） 注2 、N2氣體注3 0.7 ー0.07 1.0 0～50℃、90％RH以下 0～50（不得結露） ±5％F.S.以下（0.1MPa、25℃、流量范圍10～100％F.S.） ±5％F.S.以下（ー0.07～0.7MPa、但是0.1MPa基準） ±0.2％F.S.／℃以下（15～35℃、但是 25℃基準）
CKD小型流量傳感器注意資料，喜開理超小型直裝過濾器
50ms以下注5 流量顯示（7字節3 1/2位 橙色）、運轉及開關輸出顯示（橙色） 開關輸出2點 （NPN或者PNP開式整流子輸出、50mA以下、電壓降2.4V以下、對應PLC?繼電器） 模擬輸出1點 （1～5V電壓輸出、連接負荷阻抗50KΩ以上） DC12/24V（10.8～26.4V） 60mA以下 φ3.7 0.2mm2×5芯 1m 流量顯示、流量顯示峰值同步、開關輸出、模擬輸出 縱向·橫向安裝自如 不要 IEC規格 IP40 保護電源反向連接、保護開關輸出反向連接、保護開關輸出負荷短路 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
流量范圍 /min注1 適用流體 zui高使用壓力 MPa zui低使用壓力 MPa 耐壓力 MPa 使用環境溫度·濕度 使用流體溫度 ℃ 直線性 （模擬輸出） 壓力特性 溫度特性
再現性 （重復精度）
響應性 顯示的種類 輸出的種類 電源電壓 消耗電流 導線 保有機能 安裝方向 導入直管部分 保護構造 保護回路注4 EMC指令
精 度
使 用 條 件
安 裝
潔凈空氣（JIS B 8392-1.1.2～5.6.2）、壓縮空氣（JIS B 8392-1.1.2～1.6.2） 注2、N2氣體注3 0.7 ー0.07 1.0 0～50℃、90％RH以下 0～50（不得結露） ±5％F.S.以下（0.1MPa、25℃、流量范圍10～100％F.S.） ±5％F.S.以下（ー0.07～0.7MPa、但是，0.1MPa基準） ±0.2％F.S.／℃以下（15～35℃、但是，25℃基準）
50ms以下注5 電源顯示（色） 模擬輸出1點（1～5V電壓輸出、連接負荷阻抗50KΩ以上） DC12/24V（10.8～26.4V） 50mA以下 φ3.7 0.2mm2×3芯 1m 模擬輸出 縱向、橫向安裝自如 不要 IEC規格 IP40 保護電源反向連接 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
項 目
模擬輸出型 FSM-A-005 FSM-A-010 FSM-A-050 FSM-A-100 FSM-A-200 FSM-A-500 0.05～0分離顯示器規格（模擬輸出型）
可以連接 模擬輸出型型號 顯示
電源電壓 消耗電流 導線 保有機能 使用環境溫度·濕度 保護構造 EMC指令 g
流量顯示（7字節3位1／ 2 橙色）、運轉及開關輸出顯示（橙色） 開關輸出2點 （NPN或者PNP開式整流子輸出、負荷電流50mA以下、電壓降2.4V、對應PLC?繼電器） 模擬輸出1點 （1－5V電壓輸出、連接負荷阻抗50KΩ以上） DC12/24V（10.8～26.4V） 50mA以下（僅限顯示器） φ3.7 0.2mm2×5芯（1m） 流量顯示、流量顯示峰值同步、開關輸出、模擬輸出 0～50℃、85％RH以下（但是，不得凍結） IEC規格 IP40 EN50081-2、EN50082-2 約70（含導線1m）
為了確保安全 空壓元件：警告·注意事項 請務必在使用前閱讀。
危險 設計·選定時
關于使用流體 ● 請不要使用易燃流體。
關于使用環境 ● 防爆性環境 請不要在易爆環境中使用。本產品無防爆構造，有可 能引起火災。
各機種系列 個別注意事項 小型流量傳感器 FSM系列
警告 設計·選定時
關于使用流體 ● 不可作為交易時用的測量器。 因不符合測量法規，請不要在業交易中使用。請作為工 業用傳感器使用。 ● 因不符合測量法規，請不要在業交易中使用。請作為工 業用傳感器使用。 ● 從壓縮機中排放出來的壓縮空氣含有冷凝水（水、酸化 油、異物等），請在傳感器的次側（）安裝過濾 器、空氣干燥器及精密過濾器。傳感器內的網（金屬絲 網）在配管中有整流作用，不是除去異物的過濾器，需要 時請設置過濾器。
關于使用環境 ● 腐蝕性環境 請不要在亞硫酸氣體等腐蝕性氣體氛圍中使用。 ● 環境溫度·流體溫度 請在環境溫度、流體溫度為0～500C的范圍內使用。 另外，即使在溫度范圍內，請不要在環境溫度、流體溫度 急劇變化會發生結露的環境中使用。 ● zui高使用壓力 ·規格流量范圍 在zui高使用壓力以上、規格流量范圍外使用會引起故障， 請務必在規格范圍內使用。 ● 防滴環境 本產品的保護構造與IP40相當。請不要在有水分、鹽分、 塵埃及切削的場所或加壓、減壓的環境中設置。不可在溫 度急劇變化的場所或者濕度高的環境中使用，否則會使本 體內部結露而發生故障。
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